等离子清洗是依靠特定物质等离子体中的高能粒子流冲击物体表面，产生物理冲击（即借助活性粒子和高能射线轰击而使污染物脱离）或化学反应（即通过活性粒子与杂质分子反应而使污染物挥发脱离）来实现清洗物体表面，并可以保证物体的表面及本体特性不受影响。利用等离子技术进行表面清洗，不会对材料产生机械损伤，不用使用化学溶剂，是一种经济、高效、环保的清洗工艺。