随着工业和消费类电子往集成化、微型化方向发展，对电子器件的可靠性提出了更高的要求。在电子元器件生产加工过程中因各种因素的影响导致受到污染，这对产品的质量和使用寿命会造成严重的影响。等离子体可以在不破坏材料表面特性及电特性的前提下，实现对电子元器件表面进行分子水平清洗目的，还可以改善电子元器件材料本身的表面性能，如提高表面湿润性和键合、电镀及压焊等工艺的牢固性，尤其适合不耐热以及不耐溶剂的电子器件进行表面处理。