什么是等离子清洗机？plasma等离子清洗机的原理

  什么是等离子清洗机（Plasma Cleaner）

等离子清洗机又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合。

  等离子清洗机的种类

等离子清洗机根据使用环境的不同，主要可以分为以下几款类型：喷射型等离子清洗机、旋转型等离子清洗机、真空等离子清洗机、在线式等离子清洗机、常压等离子清洗机、大气旋转喷头等离子清洗机、智能集成等离子处理系统等。

  等离子清洗机的作用

金属器材表面附着有油脂、油污等有机物和氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，通过等离子清洗机处理可以获得洁净和无氧化层的表面。等离子清洗可以除去器材表面细小的油膜、锈迹或其他油类污物，而且在等离子清洗后，不会在器材表面留下残余物。

  等离子清洗机的原理

在经过低温等离子体表面处理后，材料表面会发生多种物理、化学变化。可用于清除碳化氢类污物，如油脂，辅助添加剂等，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团（羟基、羧基），通过等离子体处理得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。

在同样效果下，应用等离子体处理表面可以得到非常薄的高张力涂层表面，有利于粘合、涂覆和印刷，不需其他机器、化学处理等强烈作用成份来增加粘合性。

  等离子表面清洗机的优势

1、清洗对象经等离子清洗之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序，可以提高整个工艺流水线的处理效率；

2、等离子清洗使得用户可以远离有害溶剂对人体的伤害，同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题；

3、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂，在等离子清洁后不会产生有害污染物，因此这种清洗方法属于绿色环保型清洗方法；

4、采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同，等离子体的方向性不强，这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务，因此不需要过多考虑被清洗物体的形状，而且对这些难清洗部位的清洗效果相对于传统氟利昂清洗的效果会更好；

5、等离子清洗机可以有效提高清洗效率，整个清洗流程在短短的几分钟内即可完成，因此具有产率高的特点；

6、等离子清洗需要控制的真空度大约为100Pa，这种清洗条件很容易达到，因此这种装置的设备成本不高，加上清洗过程不需要使用价格较为昂贵的有机溶剂，这使得整体成本要低于传统的湿法清洗工艺；

7、使用等离子清洗，避免了对清洗液的运输、存储、排放等处理措施，所以生产场地很容易保持清洁卫生；

8、等离子体清洗机可以不分处理对象，它可以处理各种各样的材质，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高聚物）都可以使用等离子体来处理，因此特别适合于不耐热以及不耐溶剂的材质，而且还可以有选择地对材料的整体、局部或复杂结构进行部分清洗；

9、在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力等，这在许多应用中都是非常重要的。

  等离子表面清洗机的应用领域

1、半导体集成电路及微电子产业；

2、LCD液晶/LED封装,PCB线路板制造；

3、等离子清洗机生物医疗材料表面改性修饰；

4、精密仪器、机械及电气制造；

5、等离子处理机聚合物薄膜、纺织纤维改性处理；

6、APR大气等离子清洗机手机触摸屏、平板电脑玻璃盖板清洗活化；

7、等离子表面处理器用于汽车制造、橡胶塑料产业。

8、适用于实验室科研、小批量生产，小部件纳米清洗、表面活化、表面改性或PCB制造、半导体LED制造、TSPOLED设备、真空等离子喷涂系统等工业应用领域。